氧化锌(ZnO)是很好的GaN薄膜(蓝光LED)衬底材料,具有60mev的激子束缚能以及室温下3.73ev带隙使之成为紫外以及可见光发光材料.同时由于具有可见区透明,机电耦合系数大,能使气体分子在其表面的吸附-解析等性质,有望在高峰值能量的能量限制器、大直径高质量的GaN的衬底、未来的5GHz之外的无线通信、高电场设备、高温高能电子器件、高电场设备、高温高能电子器件等方面得到广泛应用.
生长方法
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水热法
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晶体结构
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六方
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晶格常数(Å)
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a=3.252 c=5.313
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晶向
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<0001>、<11-20>、<10-10>±0.5º
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尺寸(mm)
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25×25×0.5、10×10×0.5、10×5×0.5、5×5×0.5
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可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底
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抛光
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单抛片、双抛片或切割片
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表面粗糙度
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Surface roughness(Ra):<=5Å
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可提供原子粒显微镜(AFM)检测报告
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物理性质
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密度(g/cm3)
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5.7
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硬度(mohs)
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4
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熔点(℃)
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1975
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热膨胀系数(/℃)
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6.5 x 10-6 //a, 3.7 x 10-6 //c
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比热容(Cal/g /℃)
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0.125
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热电常数(mv/k)
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1200 @ 300℃
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热导(cal/cm/k)
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0.006
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透过范围
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0.4-0.6 um > 50% at 2mm
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包装
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100级洁净袋,1000级超净室
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